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电子工业生产中所需的高纯气体

随着现代分析仪器的发展，国外对高纯气体的分析经历了离线分析(off-line)、在线分析(on-line)和原位分析(in-situ)三个阶段。我国在高纯气体分析方面，也已进入在线分析阶段，且分析检测的灵敏度高，可以实现气体中痕量金属杂质的分析测试 。然而，由于一些气态样品不能直接导入分析仪器进行金属成分的测量，特种气体厂家直销，一般需要把气体样品先进行液体化，即将含有金属杂质的气体样品捕集到溶液中，以该溶液为样品，才能选定合适的检测手段进行分析。由于高纯气体中的金属杂质含量低至ppb至ppt级，因此，对测定时使用的取样方法(防止样品污染)、检测方法以及分析测试仪器(灵敏度和检测限等)均提出了更高的操作要求。本文综述了电子气体中金属杂质的一些捕集方法以及几种不同的检测方法。

特种气体兴起于60年代中期，作为基础化工材料，主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、医1学科学、临床诊断、医1药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展，其应用范围也越来越广泛。在国民经济高速发展及下游1行业的强劲需求下，我国特种气体行业在2006年后进入快速发展阶段，特种气体公司，年均增速达到17%以上。2011年，国内特种气体行业产值规模为296.88亿元，较上年增长22.15%；销售收入为297.52亿元，东莞特种气体，较上年增长21.64%。

特种气体是光电子、微电子等领域，特种气体价格多少，特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。高纯电子特种气体被形容为半导体工业的”血液”和”粮食”，是大规模集成电路、多晶硅、太阳能、光纤等先进制造业的重要原材料，属于国家加快扶持发展的战略性新兴产业。然而早些年，相关产品被国外垄断，市场定价权掌握在国外厂商手中。

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